鵬城半導體技術(深圳)有限公司

真空鍍膜,分子束外延,磁控濺射儀,熱絲CVD金剛石設備,物理氣相...

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公司介紹
鵬城半導體技術(深圳)有限公司(簡稱:鵬城半導體),由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。公司立足于技術前沿與市場前沿的交叉點,尋求創新引領與可持續發展,解決產業的痛點和國產化難題,爭取產業鏈的自主可控。


公司人才團隊知識結構完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊;還有來自工業界的高級裝備設計師團隊,他們具有公司依托于哈爾濱工業大學(深圳),具備先進的半導體研發設備平臺和檢測設備平臺,可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導體裝備的研發、生產、調試以及半導體材料與器件的中試、生產、銷售的能力。


團隊在第三代半導體裝備及工藝方面的技術積累


設計了中試型的全自動化監控的MOCVD,用于外延GaN和ZnO。


設計制造了第一臺完全自主知識產權的分子束外延設備,用于外延光電半導體材料。


設計設計超高溫CVD 和MBE。


2007年與蘭州大學物理學院合作


2015年中科院金屬研究所沈陽材料科學國家(聯合)實驗室合作


2017年


-開始研制PVD方法外延GaN的工藝和裝備,目前正在進行設備工藝驗證。


設計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產... [詳細介紹]
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